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切割機專用純水阻抗值調整裝置 -Resistivity Management Unit-

二氧化碳溶解器可減少切割中產生的加工物帶電現象,並能抑制微粒的粘附以及靜電對半導體元件的不良影響。
為了降低純水的阻抗值,該裝置利用將二氧化碳氣體溶解於切割水中,從而將純水阻抗值調整到設定值。


經過採用新開發的CO2混合(多級混合調節)方式,可以不受切割水流量變化的影響,能維持穩定的阻抗值。另外,在切割機操作顯示器上可進行阻抗值的設定,各種加工參數的輸入以及故障警報的集中控制等操作,並且還可將該裝置安裝在6000系列機型的主機內部,從而降低了設備的佔地面積。

適用設備: 切割機

  二氧化碳溶解器
標準規格 低電阻率規格
二氧化碳溶解器 二氧化碳溶解器
純水阻抗的設定範圍(MΩ·cm) 0.5 - 1.0 0.2 - 0.6
純水阻抗的變化幅度* 設定的電阻率目標值的±10%範圍以内 設定的定電阻率目標值的
±0.06 MΩ·cm範圍以内
特點 可隨時監視切割水的阻抗值,並按照設定的阻抗值目標值,對其進行調整。另外,由於該裝置具有自動記錄切割機的全自動運轉開始時/每次切割完成時/故障發生時的阻抗值的功能,所以有助於對生產過程實施有效的管理。
* 流量在3 - 15 L/min範圍內,並且保持一定流量,供給水溫度為20 - 25 ℃的情況下
* 點擊裝置照片即可開啟產品目錄(PDF)
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