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関連製品
ディスコではお客さまの加工ニーズにお応えするために、切削水用の添加剤や各種カセット、フレームなどの関連製品も提供しています。
ダイシング切削水用添加剤
ダイシング切削水に添加することで、加工中のパーティクル付着やパッドの腐食を防止します。
ダイシング切削水用添加剤 - StayClean-F -
StayClean-F パッド腐食を防止、パッド上のパーティクル付着防止
StayClean-A ウェーハへのパーティクル付着を効果的に防止
（樹脂膜、金属膜、ガラス）
StayCleanインジェクタ 高度な濃度管理が可能なStayClean添加装置



テープフレーム
ダイシング時にワークを固定するフレームです。 テープフレーム
MDTFR200-01

フレーム
サイズ		 ワーク
サイズ		 フレーム
型式		 DISCO
パーツNo.

サイズ（mm）

 材質 備考
最大
外径		 最小
外径		 内径
ø5インチ ø4インチ DTF2-5-1 MEDFNB29 168.2 － 146 樹脂製 角型
ø5インチ DTF2-5 MDTFR125-01 195 190 160 ステンレス製 丸型
ø6インチ DTF2-6 MDTFR125-02 214 195 175 ステンレス製 標準タイプ
ø6インチ DTF2-6-1 MDTFR150-01 228 212 194 ステンレス製 標準タイプ
DTF2-6-1 MDTFR150-02 228 212.5 194 樹脂製
ø8インチ ø8インチ DTF2-8-1 MDTFR200-01 296 276 250 ステンレス製 標準タイプ
ø12インチ ø12インチ DTF2-12 MDTFR300-01 400 380 350 ステンレス製 厚さ:1.5mm
DTF2-12-1 MDTFR300-02 400 380 350 ステンレス製 厚さ:1.2mm
※品番（パーツナンバー）等の詳細につきましては、各サービスグループへお問い合わせください。
※発注は１枚単位から可能です。
（ご参考）テープフレームサイズ



ダイシング用カセット
ダイシングフレームに貼付されたワークを収納するカセットです。 ダイシング用カセット
MDTC-200-02

対応
フレーム
サイズ		 DISCO
パーツNo.

サイズ（mm）

 段数 材質/処理 備考
幅 奥行 高さ
ø5インチ MDTC-100-01 178 171.5 143 25 アルミニウム/
黒色アルマイト処理		 MEDFNB29
（DTF2-5-1）向け
MDTC-125-01 203 195 143 25 MDTFR125-01
（DTF2-5）向け
MDTC-125-02 203 198 143 25 DTF2-6向け/1way仕様
MDTC-125-03 203 198 143 25 DTF2-6向け/2Way仕様
ø6インチ MDTC-150-01 222 212 143 25 アルミニウム/
黒色アルマイト処理		 DTF2-6-1向け/
1way仕様
MDTC-150-02 222 212 143 25 DTF2-6-1向け/2Way仕様
MDTC-150-03 240 212 143 25 樹脂製 DTF2-6-1向け
（1Set:5個入り）
ø8インチ MDTC-200-01 288 276 188.8 25 アルミニウム/
黒色アルマイト処理		 DTF2-8-1向け/
1Way仕様 （DTC2-8J）
MDTC-200-04 288 276 112.55 13 DTF2-8-1向け/
1Way仕様 （DTC2-8H）
MDTC-200-02 288 276 188.75 25 DTF2-8-1向け/
2Way仕様 （DTC2-8G）
ø12インチ MDTC-300-01 390 386 182 13 アルミニウム/
黒色アルマイト処理		 DTF2-12向け/1Way仕様
MDTC-300-02 390 386 182 13 DTF2-12向け/1Way仕様
キネマチックカップリング対応
MDTC-300-03 390 386 302 25 DTF2-12向け/1Way仕様
キネマチックカップリング対応
※品番（パーツナンバー）等の詳細につきましては、各サービスグループへお問い合わせください。



グラインダ用カセット
ウェーハを直接収納するカセットです。
ダブルスロットカセットとは、薄ウェーハを安全に出し入れするための特殊カセットです。
※ディスコでは、標準のカセットは取り扱っていません。

グラインダ用カセット
ダブルスロットカセット
（ø8インチ, 7段）
薄残し用ダブルスロットカセット ø8インチ 7段
13段
ø300mm 7段
13段
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