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アプリケーション実例集


CPアライメント
 

CPアライメント(Characteristic point alignment)とは、輪郭を基準としてターゲットを認識し、マッチングをおこなう機能です。コントラストによりターゲット認識をおこなう従来の方法ではアライメントが困難な場合に有効です。

◆対応事例
例1:光量調節では十分なコントラストが得られないワーク
(参考写真:Si 300µm厚 + Si 300µm厚ウェーハの貼り合わせ品)
従来 CPアライメント
従来
コントラスト不足によりターゲット認識不可
CPアライメント
ターゲット認識可能
例2:ターゲット上の傷・付着物が多いワーク
(参考写真:パッケージ基板の端子)
従来 CPアライメント
従来
ターゲットの粗さ、傷により認識不可
CPアライメント
ターゲット認識可能
<注意>
下図のように、傷や付着物の状態によってはアライメントが不安定になる場合があります。
ターゲット認識可能 ターゲット認識が不安定

ターゲット内に
傷、付着物がある場合

ターゲット輪郭部に
傷、付着物がある場合

本機能は特殊仕様となります。詳細は弊社営業までお問い合わせください。




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