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ブレード先端形状の修正 フラットドレス
 
ウェーハエッジ欠け対策として実施するエッジトリミングでは、ブレード先端形状が崩れてしまいます。今回は、ブレード先端形状をフラットにするフラットドレスをご紹介いたします。
◆実用例
エッジトリミングを実施するブレードは、ブレード先端形状が徐々に崩れてしまいます。フラットドレスを実施する事により、ブレード先端をフラットな状態に戻す事が可能です。
エッジトリム加工後
エッジトリム加工後
フラットドレス後
フラットドレス後
Photo 1: フラットドレス前後のブレード形状
◆フラットドレスの方法
形の崩れたブレード先端をドレッサーボードに切り込み、スピンドルを前後に動作させ、ブレード先端をフラットにしていきます。
Photo 2: フラットドレス時の動き
本機能は特殊仕様となります。詳細は弊社営業までお問い合わせ下さい。




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