ソリューション

アプリケーション実例集

ブレード先端形状の修正　フラットドレス

ウェーハエッジ欠け対策として実施するエッジトリミング（アプリケーション実例集：ウェーハエッジ欠け対策、エッジトリミングの用途の多様化参照）では、ブレード先端形状が崩れてしまいます。今回は、ブレード先端形状をフラットにするフラットドレスをご紹介いたします。

◆実用例

エッジトリミングを実施するブレードは、ブレード先端形状が徐々に崩れてしまいます。フラットドレスを実施する事により、ブレード先端をフラットな状態に戻す事が可能です。

エッジトリム加工後

フラットドレス後

Photo 1:　フラットドレス前後のブレード形状

◆フラットドレスの方法

形の崩れたブレード先端をドレッサーボードに切り込み、スピンドルを前後に動作させ、ブレード先端をフラットにしていきます。

Photo 2:　フラットドレス時の動き

◆参考情報

ウェーハエッジ欠け対策
エッジトリミングの用途の多様化

本機能は特殊仕様となります。詳細は弊社営業までお問い合わせ下さい。

◆お問合せ

この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。（お問い合せの流れ）

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