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アプリケーション実例集


IRカメラを用いたアライメント
 
IR(Infrared Rays)カメラは、赤外線を利用したカメラです。 赤外線は可視光に比べて波長が長いため散乱しにくい性質があり、シリコンなどを透過して裏面のパターンを撮影、アライメントすることができます。IRカメラはオプションまたはDPRとしてディスコの装置に搭載可能です。


◆加工事例
Si+Si、Si+ガラスなどの貼りあわせにより、パターン面が切削面上にないワークのアライメント方法としてIRカメラが使われます。

例)
以下はパターン付きウェーハ(t0.3mm)のパターン面を下向きにマウントして、標準カメラとIRカメラで観察を行ったときの画像です。
Photo1:標準カメラ
標準カメラ
Photo2:IRカメラ
IRカメラ
透過するワークの厚さや材質により、IRカメラの使用可否がございますので、弊社営業までお気軽にご相談ください。






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