IR（Infrared Rays）カメラは、赤外線を利用したカメラです。 赤外線は可視光に比べて波長が長いため散乱しにくい性質があり、シリコンなどを透過して裏面のパターンを撮影、アライメントすることができます。IRカメラはオプションまたはDPRとしてディスコの装置に搭載可能です。
◆加工事例
Si＋Si、Si＋ガラスなどの貼りあわせにより、パターン面が切削面上にないワークのアライメント方法としてIRカメラが使われます。
| 例） |
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| 以下はパターン付きウェーハ（t0.3mm）のパターン面を下向きにマウントして、標準カメラとIRカメラで観察を行ったときの画像です。 |
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Photo1：標準カメラ
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Photo2：IRカメラ
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透過するワークの厚さや材質により、IRカメラの使用可否がございますので、弊社営業までお気軽にご相談ください。 |
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◆お問合せ
| この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。（お問い合せの流れ） |
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