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アプリケーション実例集


多枚研削
 
フレームチャック使用による研削(2003年2月更新)の続編として、今回はフレームチャック使用による多枚同時研削を紹介します。


◆多枚同時研削方法
ダイシングフレームに貼り付けたテープ上に複数枚のワークを貼り付け、DAG810のチャックテーブルに固定し研削します。
多枚同時研削フレームチャック概略図

◆対応可能ワーク
小径丸形状/楕円形状/四角形状など、さまざまなワーク形状に対応可能です。(チャックテーブル径は8inchと12inchが選択可能)

◆加工実績
パッケージング後、樹脂塗布時の応力により大きな反りの発生したワーク(モールドされたチップ)、1/4形状にカットしたSiウェーハ、Siチップ、LT実装基盤、ガリウム砒素基盤、サファイア基盤など。

本機能は特殊仕様となります。詳細は弊社営業までお問い合わせ下さい。



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