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アプリケーション実例集


GaAsウェーハのテープ固定による薄化
 
GaAsウェーハの研削はワックス固定が主流ですが、アプリケーションの選定により、テープ固定での薄化研削も可能です。


◆加工実例
GaAsウェーハは破損しやすい素材です。そのため保持力の高いワックス固定による薄化研削が主流ですが、ホイールや加工条件、テープ等を選定することで、テープ固定での薄化研削も可能です。

ワックス固定
メリット
  • 研削時のウェーハ破損リスクが低い
デメリット
  • 精度の高い貼り付けが難しいため、研削後の厚みがばらつく可能性が高い
  • 研削、剥離後にワックスを除去するための洗浄工程が必要
  • 薄化後の洗浄工程でのウェーハ破損リスクが高い
テープ固定
メリット
  • ワックス固定と比較して、プロセスが簡略
  • 固定の精度が高いため、ウェーハの研削後の厚みがばらつきにくい
デメリット
  • 適切な加工条件でなければ薄化時にウェーハ破損リスクが高くなる
Fig.1 ワックス固定・テープ固定プロセス比較




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