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アプリケーション実例集


リチウムタンタレイト(LT)の高品質加工
 
LTの高品質加工を紹介します。


◆加工実例
SAWデバイスの基盤等に用いられる、4inchLTウェーハのさらなる高品質加工が可能になりました。

◆面粗さデータ
Ra=約0.002µm、Ry=約0.017µmとなっています。
◆研削面状態
従来の加工面
従来の加工面
高品質加工面
高品質加工面
◆加工実績
4inchのLTウェーハで、研削量が10µm当たり、加工時間は約4分、ホイール摩耗量は約2µmとなっています。
また、研削量は30µmまで、仕上げ厚みは110µmまで加工実績があります。




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