ソリューション

アプリケーション実例集

リチウムタンタレイト（LT）の高品質加工

リチウムタンタレイト（LT）研削（2005年8月更新）の続編として、LTの高品質加工を紹介します。

◆加工実例

SAWデバイスの基盤等に用いられる、4inchLTウェーハのさらなる高品質加工が可能になりました。

◆面粗さデータ

Ra=約0.002µm、Ry=約0.017µmとなっています。

◆研削面状態

従来の加工面

高品質加工面

◆加工実績

4inchのLTウェーハで、研削量が10µm当たり、加工時間は約4分、ホイール摩耗量は約2µmとなっています。
また、研削量は30µmまで、仕上げ厚みは110µmまで加工実績があります。

◆お問い合わせ

この内容に関するお問い合わせは、アプリケーションWebヘルプデスクにて承ります。（お問い合わせの流れ）

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