ダイシング切削水用添加剤 - StayClean-A -
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ウェーハへのパーティクル付着を効果的に防止
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StayClean-Aはワーク表面の濡れ性を増大させることで、乾燥によるパーティクルの固着を防止します。また、洗浄成分によって発生する気泡により、パーティクルの沈降速度が低下します。その結果、ワーク表面へのパーティクル付着を大幅に低減します。 StayClean-Aはワークの種類に左右されず、高いパーティクル付着防止効果を発揮するため、イメージセンサなど樹脂膜付きウェーハなど撥水性が高いワークでも高い効果を発揮します。 |
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＜パーティクル付着防止効果＞ |
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純水のみ
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ステイクリン-A使用時
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| 樹脂膜付きウェーハ |
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StayCleanを切削水に注入するための専用ユニットです。 |
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