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제품정보


드라이 폴리싱 휠

폴리셔에 장착하여 표면 연삭후의 미세한 연삭 파괴층을 제거하는(스트레스 릴리프), [Migaku(연마)] 가공을 실행하는 제품입니다.

안전한 사용을 위해
제한 회전수에 대하여

시리즈 가공 대상 특징
DP 시리즈 DP
시리즈
실리콘 웨이퍼, 기타 용수, 슬러리를 사용하지 않고 건식으로 경면가공, 스트레스 릴리프를 실행하는 폴리싱 휠
DP08 시리즈 DP08
시리즈
실리콘 웨이퍼, 기타 신개발 드라이 폴리싱 휠. 종래의 웨이퍼 연마와 함께 DBG프로세스에도 사용 가능.
GetteringDP Gettering
DP
실리콘 웨이퍼, 기타 드라이 폴리싱 프로세스에서 Gettering효과와 높은 항절강도를 양립.


제품정보
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정밀가공도구
 
 
기타 제품
 
 
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