0. 레이저쏘 | 7000시리즈 | Ablation가공 대응 - DISCO Corporation
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제품정보


Laser Saw

복합재, 난삭재의 고속, 정밀, 높은 품질을 실현하기 위하여 레이져 광의 특성을 이용한 장비입니다.
레이저 가공방법의 소개  
Ablation가공
초단시간동안 극부영역에 레이저 에너지를 집중시킴으로써 고체를 승화, 증발시켜 풀 컷이나 그루빙으로 가공 하는 방법
DBG+DAF레이저 커팅
레이저 풀 커팅 다이싱
Low-k그루빙(Grooving)
스텔스 다이싱
레이저를 자재 내부에 집광시켜 내부에 개질층을 형성하여 Tape Expansion 등으로 칩 분할을 실시하는 다이싱방법
스텔스 다이싱 어플리케이션
Laser lift-off
기판상에 형성된 재료층에 레이저를 조사하여 기판에서 재료층을 박리하는 가공수법
Ablation대응 장비  
150mm대응
300mm대응
DAL7020 DFL7020
DAL7020 DFL7020
최대 대응 웍 사이즈 mm ø150
가공방식   세미 오토메틱 풀 오토메틱
X축 공급속도 입력범위 mm/s 0.1 - 300
Y축 위치결정 정밀도 mm 0.003이내/160
제원 치수(WxDxH) mm 600 x 1,500 x 1,530 1,050 x 1,530 x 1,650
무게 kg 약810 약1,310
DFL7161 DFL7160
DFL7161 DFL7160
최대 대응 웍 사이즈 mm ø300
가공방식   풀 오토메틱
X축 공급속도 입력범위 mm/s 1.0 - 1,000 0.1 - 600
Y축 위치결정 정밀도 mm 0.003이내/310
제원 치수(WxDxH) mm 1,560 x 1,550 x 1,800 1,200 x 1,550 x 1,800
무게 kg 약2,300 약1,750
※ 장비의 사진을 클릭하시면 제품카탈로그(PDF)가 열립니다

Stealth Dicing대응 장비  
200mm대응
300mm대응
DFL7341
DFL7341
최대 대응 웍 사이즈 mm ø200
가공방식   풀 오토메틱
X축 공급속도 입력범위 mm/s 1.0 - 1,000
Y축 위치결정 정밀도 mm 0.003이내/210
제원 치수(WxDxH) mm 950 x 1,732 x 1,800
무게 kg 약1,800
DFL7361 DFL7360FH
DFL7361 DFL7360fh
최대 대응 웍 사이즈 mm ø300
가공방식   풀 오토메틱
X축 공급속도 입력범위 mm/s 0.1 - 1,000 1.0 - 1,000
Y축 위치결정 정밀도 mm 0.003이내/310
제원 치수(WxDxH) mm 1,210 x 3,270 x 1,800 1,100 x 2,100 x 1,990
무게 kg 약2,570 약2,090
※ 장비의 사진을 클릭하시면 제품카탈로그(PDF)가 열립니다

Laser lift-off 대응 장비  
DFL7560L
DFL7560L
최대 대응 웍 사이즈 mm ø150
가공방식   풀 오토메틱
제원 치수(WxDxH) mm 2,000 x 1,810 x 1,800
무게 kg 약3,300
※ 레이저 리프트오프를 실시할경우, 일본국내특허 제4285776호
및 본 특허의 외국대응특허에 저촉될수있으니 유의하시기 바랍니다.
※ 장비의 사진을 클릭하시면 제품카탈로그(PDF)가 열립니다

본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.


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