產品介紹

DFS8910，DAS8920/8930
- Fully Automatic Surface Planer -

鉋平機

DFS8910，DAS8920/8930是一種通過對LCD驅動器上的金製接線頭(凸塊)進行平面化・平整化加工，從而降低接合不合格率的設備。
由於從工件裝載、加工後的清洗、到收入晶片盒為止的一系列工序均採用自動化操作方式，所以能安全地進行晶片搬運。另外，使用該設備還能對樹脂、塑性金屬材料（金、銅、鋁）進行高精度的平面化加工。

加工事例的介紹

利用鉋平機切削平坦化

		DFS8910	DAS8920	DAS8930

最大加工物尺寸		φ8" *		φ300 mm
主軸數量		1
工作盤數量		1
晶片搬運部・清洗部		有	無
加工精度	晶片內接線頭高度的參差不齊(µm)	2.0以下		3.0以下
	芯片內接線頭高度的參差不齊(µm)	1.0以下
	接線頭的表面粗糙度(µm)	Rz 0.1以下
設備尺寸(WxDxH) (mm)		1,200 x 2,670 x 1,800	500 x 1,250 x 1,780	730 x 1,700 x 1,780
設備重量 (kg)		約1,900	約800	約1,500

*	希望加工Φ8"以下晶圓的客戶，請與弊公司業務聯繫



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