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ディスコHOME > 製品情報 > ドライポリッシングホイール > DP08シリーズ | |
通常プロセスのウェーハ研磨に加え、DBGプロセスでも使用可能なケミカルフリーのストレスリリーフを実現
ダメージ比較（TEMによる観察） ドライポリッシング後のウェーハでは、ダメージが除去されています。
仕 様
抗折強度（球抗折）
面粗さ
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