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フルオートマチックグラインダ/ポリッシャ 8000シリーズ |
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フルオートマチックポリッシャ 8000シリーズ |
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フルオートマチックドライエッチャ 8000シリーズ |
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最大対応
ワークサイズ
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スピンドル
軸数
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チャック
テーブル数
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アプリケーション |
グラインダ
/ポリッシャ |
8000
シリーズ |
DGP8760
（生産終了） |
300mm |
3 |
4 |
ウェーハ裏面研削研磨 |
| DGP8761 |
300mm |
3 |
4 |
| ポリッシャ |
DFP8140 |
8" |
1 |
1 |
ウェーハ裏面研磨 |
| DFP8160 |
300mm |
1 |
1 |
| ドライエッチャ |
DFE8040
（生産終了） |
8" |
- |
1 |
ウェーハ裏面
エッチング |
DFE8060
（生産終了） |
8"/300mm |
- |
1 |
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