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ZHFXシリーズ

ZHFXシリーズ
新たに開発した酸化物ウェーハ加工に最適な摩耗性能を持つボンドを採用。これまで連続加工が困難であった酸化物ウェーハ切断を安定かつ高品位で連続加工することを可能にしました。また、リチウムタンタレイトウェーハのDBGプロセス加工においても、より安定した加工結果が期待できます。

特 徴
  • 酸化物ウェーハでは高品位かつ安定した加工を実現
  • 加工中のドレス頻度を大幅に削減し、高い連続加工性能を発揮
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詳しい仕様や機能などはカタログでご確認ください。
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