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ZHRFシリーズ

ZHRFシリーズ
新技術の採用により、従来のハブブレードと比較し、更にブレード強度を向上。高速加工・厚ウェーハ・ストリート上に金属の多いウェーハなどの高負荷な条件下でもブレードの斜め切れを最小限に抑え、安定した加工結果が期待できます。また、低誘電率(Low-k)膜ウェーハの加工において、レーザグルービングとの組み合わせにより、表面チッピング・膜剥がれ無しに高速切断が可能です。

特 徴
  • 高負荷加工において安定した加工性能を発揮
  • レーザグルービング後のウェーハの高速切断を実現
  • 長い刃先出しを求められる加工に対応
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詳しい仕様や機能などはカタログでご確認ください。
ZHRFシリーズ カタログ
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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部
Phone: 03-4590-1000Fax:03-4590-1001
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