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ZHZZシリーズ

ZHZZシリーズ
ZHZZシリーズは、狭ストリートなど薄刃ブレードを使用する加工に焦点を当て開発されたハブブレードです。新たに開発した強度の高いH1ボンドを採用することで、薄刃領域でのブレード破損や蛇行を低減し、安定加工を実現します。業界最薄の10 μmブレードをはじめとしたラインアップで、更なる狭ストリートウェーハへの対応に貢献します。

特 徴
  • 薄カーフ領域でのブレード破損・蛇行の低減
  • 狭ストリートでの安定加工が可能
  • 10µmの極薄ハブブレードを実現
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詳しい仕様や機能などはカタログでご確認ください。
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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部
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