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| 60µmを越えるような比較的厚いブレードでは、加工ライン数の増加に伴いブレード先端の中央部だけが消耗する場合があります。この先端形状の崩れは、カーフ広がり、突発チッピングなどの品質劣化を招きます。ZHCRシリーズでは、独自の技術により特殊なブレード構造にすることで、先端形状の崩れを抑制し、品質劣化のない安定した加工プロセスを実現します。これによりブレードライフの向上も期待できます。ZHCRシリーズは、以下のような先端形状の崩れが発生しやすい加工で真価を発揮します。 |
- 60µmを越えるような厚いブレードを使用する加工
- ストリート上のTEGが多いウェーハ加工
- レーザグルービング後のブレードダイシング
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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部
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